流量范圍:5881/91:15-100gr/hour;5882/92:200-1000gr/hour;精度:0
Brooks公司出品的流量計(jì)和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案
模擬式;流量范圍:0-30000sccmN2eq;流量精度:讀數(shù)1.0%(20%-99%FS);0.2%FS(流量Brooks公司出品的流量計(jì)和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案
5866E_模擬橡膠密封壓力式質(zhì)量流量控制器模擬橡膠密封;流量范圍:0-30000sccm;壓力范圍:7
SLA5820_數(shù)字橡膠密封壓力式質(zhì)量流量控制器數(shù)字橡膠密封;流量范圍:0-30slpm;精度:0