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ETCH主要產(chǎn)品涉及金屬加工件chamberLinear/heater/slitdoor）；密封件；以及ESC（包括ESC翻新延長了使用壽命加熱元件的發(fā)熱越有效，需要對(duì)它們進(jìn)行的加熱就越少
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