Delta質(zhì)量流量計

簡要描述：Delta質(zhì)量流量計DELTAII流量比例控制器隨著DELTA流量比例控制器的使用，優(yōu)化工藝結果將變得容易

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2023-10-14
訪問量：316

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

詳情介紹

Delta質(zhì)量流量計

DELTA® II流量比例控制器隨著 DELTA 流量比例控制器的使用，優(yōu)化工藝結果將變得容易。它可將混合的工藝氣體按比例分為兩路以提高均勻性等工藝參數(shù)。比例可從1:1至1:20。

使用DELTA™流量比例控制器(FRC)能更容易獲得的工藝性能。FRC廣泛用于不同的流量分離設備，如刻蝕、去膠和PECVD工藝設備中，F(xiàn)RC使用戶能夠?qū)怏w或混合氣體分送至同一反應室中的兩個不同區(qū)域。根據(jù)氣體(或任何混合氣體)及其設定比率，F(xiàn)RC會自動將氣體分送到兩個不同的出口。

在任何新的和已有的工藝設備中使用FRC都很簡單。擁有大量程范圍的流量(500/500sccm到10,000/10,000sccm)可供選擇，F(xiàn)RC均可以滿足您的要求。憑借擁有版權的計算器，我們應用工程師們將為您的應用選擇正確的部件。MKS會傳送給您有關機械和電學細節(jié)的電子文檔，幫助您開始進行部件的整合。由于FRC在工作中保持一個低于大氣壓的管道壓力，因而通常不需要特殊的防漏措施。